8英寸MEMS晶圆生产线之多靶溅射机国际招标公告（1）

（略）受招标人：（略）
1多靶溅射机1套机台规格为全新机台，适用晶圆尺寸：8英寸，notch，基片托盘：≥10个，预真空室可装载至少10个基片托盘，每个基片托盘可装载1片基片；设备配置：磁控阴极≥4个，阴极靶材尺寸≥6英寸；具有Loadlock（装载模块）；传输模块装有机械手，可实现晶圆在Loadlock（装载模块）和工艺模块之间的传输；具备反溅清洗功能及加热除气功能；高真空腔室：配置腔室防污罩（Processkits）4套以上，以及配备观察窗；
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人：（略）