(略)受招标人:
(略)
1
(略)1
(略)能够同时进行晶圆表面二氧化硅、多晶硅和硅抛光工艺,且相互之间不影响。设备构成:由EFEM单元、抛光单元、清洗单元、机械传输单元、废液排放单元、排风单元、控制单元、研磨液供液单元和清洗液供液单元。详见招标文件第八章
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:(1)投标人是响应招标、已在招标人:
(略)
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