磁控溅射系统（JLU-KC24026）采购公告

项目名称：（略）
公示开始日期（略）:24:38公示截止日期（略）:00:00
采购单位：（略）
联系人：（略）
签约时间要求成交后7个工作日内到货时间要求国内合同签订后90个工作日内
预算￥950,000
发票要求增值税发票（一般纳税人须开具增值税专用发票）
供应商资质要求符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
;须上传生产厂家盖章的针对本项目的授权书和售后服务承诺书。(必选);区域代理授权书(必选)
收货地址：（略）
采购清单1采购物品采购数量计量单位：（略）
（略）1台电子工业生产设备
品牌苏州方昇
（略）FS450-Y4
技术参数1、样品台1.1、样品架夹具可以固定1个3英寸或更大尺寸有效蒸镀面积的基片托。1.2、基片盘可旋转，采用伺服电机驱动，旋转速度0-30转/分可调；1.3、样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性；1.4、基片盘下方挡板采用磁流体密封，可在真空状态下打开关闭，用作预溅射或遮挡靶表面氧化层或杂质用。1.5、基片架带升降功能,升降通过电机带动滚珠丝杆实现,焊接波纹管密封,升降行程≥50mm。2、溅射靶2.1、共4组共焦靶，靶尺寸：2英寸；靶材厚度3-5mm，靶的正上方装有防污板；2.2、溅射靶采用水冷,以防止溅射过程中温度过高导致磁铁消磁；2.3、溅射靶安装在真空腔体底部，共焦于基片盘，对基片盘共焦溅射；2.4、溅射靶的溅射角度可调，10-30度；2.5、溅射均匀性：优于±5%；2.6、溅射电源：DC电源2台，500W；AC电源2台，600W。3、（略）3.1、三路进气，一路氩气，二路氮气，三路备用，前端带有截止阀，辅助控制；3.2、采用Aera质量流量控制器控制气体流量，量程0-100SCCM，氮气标定；3.3、主抽气管道上带有节流挡板，配合插板阀辅助调节溅射压力。4、蒸发腔体4.1、腔体采用SUS304不锈钢制作，其内部尺寸约为450×450×530mm；4.2、腔体漏率：整体漏率优于5×10-10Pa.m3/S，保压12小时，压强小于10Pa。5、（略）5.1、极限真空优于：4×10-5pa；5.2、主泵抽速不低于730L/S，采用分子泵；5.3、前级泵抽速不低于30m3/h；5.4、气动高真空插板阀，通径大于等于150mm；5.5、带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作；5.6、腔体充氮气，从常压抽至5×10-4pa的时间要求不超过15分钟。6、（略）6.1、主体采用工控机,相关阀门软件控制,减小误操作的可能性；6.2、电器控制面板与腔体,（略）等集成在一个型材框架内,易于维护；6.3、分子泵电源含有过流,过压,过热等报警保护。7.提供生产厂家盖章针对本项目的售后服务承诺书和授权书。
（略）点:外地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;1、卖方须在交货日期2周内到买方提供的现场免费安装、调试设备并验收，直至技术指标与标书符合，安装、校准与试运行时，应对仪器设备的质量、规格、性能、数量进行详细和全面的检查。2、免费提供现场培训，人数不限，主要包括仪器的基本原理、操作应用及仪器的维护保养知识，直到用户能正常使用和维护仪器。3、厂家提供仪器一年的免费保修期，在保修期内，所有服务及配件全部免费，供货厂商在接到用户要求对所购仪器设备进行维修时，应在24小时之内给予答复，并派出维修人员在三日内到达用户现场进行维修服务。;
吉林大学
（略）:24:38