工科物理实验建设（六期）-磁控溅射系统（JJ24000088）采购公告

项目名称：（略）
公告开始日期（略）-07-34公告截止日期（略）-00-00
采购单位：（略）
联系人：（略）
签约时间要求成交后5个工作日内到货时间要求签约后60个工作日内
预算总价￥4600.00+NaN+NaN
发票要求增值税普通发票增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地（略）3巷东北大学建筑学馆
供应商资质要求符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明
采购清单1物资名称：（略）
（略）1台
品牌杭州大华
（略）TablePVD-10
单价￥244000.0
0">技术参数及配置要求1、溅射腔体：约Φ250×H300mm；304不锈钢焊接腔体，圆柱式，前开门配观察窗；（略）；2、（略）2.1（略）1）机械泵+（略）2）前级泵：采用DRV-16机械泵及电磁压差式充气阀，抽速：4L/S3）主抽泵：分子泵，抽气速率：62L/S接口法兰：CF63，转速：72000rpm极限压强：5×10-7Pa4）主抽阀：CC-63超高真空电动闸板阀，用于分子泵与沉积室隔离，可调节分子泵抽速从而可以降低工艺气体流量，有利于稳定工艺气压。5）旁抽、前级阀门：GDC-J166）放气阀：电磁截止阀（DJ2C-6）用于真空室解除及真空充气使用。2.2真空测量：全量程数显复合真空计，测量范围：1×105～1×10-5Pa；真空测量采用“一低一高”2.3系统性能指标1）极限真空度：优于7.5×10-5Pa（连续抽气24小时达到）2）恢复真空：从大气抽至8×10-4Pa≤45分钟（充干燥氮气并且真空室内无放气量大的材料）3）真空室漏率：关机12小时真空度≤5Pa。（新设备空载，极限真空后关机）4、磁控溅射靶数量：2套1）（略）模块化设计，靶材直接水冷；磁铁不泡水，避免磁铁腐蚀退磁；磁路模块化，方便不同应用随时更换；2）靶材大小为直径50.8mm，建议厚度≤5mm，靶材利用率超过40%3）镀膜方式：（略）