中国科学院微电子研究所2024年5至9月政府采购意向_$$b837a7f1-3265-4e1b-ac25-4f17aefc7482

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院微电子研究所2024年5至9月政府采购意向公开如下：
（略）采购单位：（略）
1中国科学院微电子研究所12吋晶圆级等离子体增强化学气相沉积A（略）-电子工业生产设备详见项目详情4400.（略）年05月详见项目详情
2中国科学院微电子研究所12吋晶圆/芯片自动光学检测A（略）-光学测试仪器详见项目详情1300.（略）年05月详见项目详情
3中国科学院微电子研究所12吋晶圆/芯片埃级形貌检测显微镜A（略）-其他分析仪器详见项目详情700.（略）年05月详见项目详情
4中国科学院微电子研究所12吋超声扫描设备A（略）-其他分析仪器详见项目详情300.（略）年05月详见项目详情
5中国科学院微电子研究所12吋X射线光电子能谱仪A（略）-射线式分析仪器详见项目详情550.（略）年06月详见项目详情
6中国科学院微电子研究所12吋晶圆等离子划片机A（略）-电子工业生产设备详见项目详情2000.（略）年06月详见项目详情
7中国科学院微电子研究所12吋晶圆激光去胶机A（略）-电子工业生产设备详见项目详情800.（略）年06月详见项目详情
8中国科学院微电子研究所热变形翘曲检测设备A（略）-热分析仪详见项目详情620.（略）年06月详见项目详情
9中国科学院微电子研究所板材金属化设备A（略）-样品前处理及制备仪器详见项目详情1100.（略）年06月详见项目详情
10（略）A（略）-电子工业生产设备详见项目详情100.（略）年09月详见项目详情
本次公开的采购意向是本单位：（略）