中国科学院微电子研究所2024年6至10月政府采购意向_$$1d0f7619-01e1-44b1-8689-ccf9a228b59a

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院微电子研究所2024年6至10月政府采购意向公开如下：
（略）采购单位：（略）
1中国科学院微电子研究所团簇等离子体抛光设备A（略）-其他电气设备详见项目详情365.（略）年10月详见项目详情
2中国科学院微电子研究所MPW流片加工C（略）-其他专业技术服务详见项目详情115.（略）年10月详见项目详情
3中国科学院微电子研究所流片加工C（略）-其他专业技术服务详见项目详情150.（略）年10月详见项目详情
4中国科学院微电子研究所中国科学院微电子研究所物业管理服务C（略）-物业管理服务详见项目详情800.（略）年06月详见项目详情
5中国科学院微电子研究所电子束曝光机年度维保C（略）-其他维修和保养服务详见项目详情190.（略）年06月详见项目详情
6（略）升级改造C（略）-其他专业技术服务详见项目详情230.（略）年06月详见项目详情
7中国科学院微电子研究所SiGe/GeFinICP刻蚀机A（略）-电子工业生产设备详见项目详情550.（略）年06月详见项目详情
8中国科学院微电子研究所SiGe/Si叠层高选择性远程等离子源ALE刻蚀腔A（略）-电子工业生产设备详见项目详情250.（略）年06月详见项目详情
9中国科学院微电子研究所八英寸晶圆级氮化硅低压化学气相沉积设备A（略）-电子工业生产设备详见项目详情680.（略）年06月详见项目详情
10中（略）A（略）-电子工业生产设备详见项目详情392.（略）年06月详见项目详情
11中国科学院微电子研究所SOI硅片A（略）-PVC石英砂制成品详见项目详情264.（略）年06月详见项目详情
12中国科学院微电子研究所X（略）A（略）-射线式分析仪器详见项目详情610.（略）年06月详见项目详情
（略）A（略）-其他真空获得及应用设备详见项目详情100.（略）年07月详见项目详情
14中国科学院微电子研究所流片加工C（略）-其他专业技术服务详见项目详情140.（略）年07月详见项目详情
15中国科学院微电子研究所测试封装C（略）-其他专业技术服务详见项目详情240.（略）年07月详见项目详情
16中国科学院微电子研究所外延片C（略）-其他专业技术服务详见项目详情190.（略）年07月详见项目详情
17中国科学院微电子研究所流片加工C（略）-其他专业技术服务详见项目详情100.（略）年07月详见项目详情
18中国科学院微电子研究所流片加工C（略）-其他专业技术服务详见项目详情100.（略）年10月详见项目详情
19中国科学院微电子研究所高温功率循环老化设备A（略）-其他电气设备详见项目详情200.（略）年10月详见项目详情
本次公开的采购意向是本单位：（略）