深圳技术大学金属有机化合物化学气相沉积仪意向公开

（略）:09来源：【打印】深圳技术大学金属有机化合物化学气相沉积仪意向公开采购单位：（略）
项目名称：（略）
预算金额（元）:14,450,000.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟采购金属有机化合物化学气相沉积仪1台，配置参数包括：1.III-V族气源分别经过独立通道进入反应腔，腔体材质为不锈钢；2.配有最高加热温度不低于950摄氏度的加热器，由三个可独立控制温度的圆环形（略）组成，加热丝为钨丝；3.反应腔兼容以下尺寸样品托盘：3X2英寸、1X3英寸、1X4英寸；4.单片2英寸晶圆内AlGaAs组分均匀性（Xmax-Xmin）/Xmean≤2%，膜厚均匀性≤3%；5.（略）不少于12条，（略）不少于8条；6.H2,N2,AsH3,PH3配置标准单端口露点仪，做湿度监测。7.配有处理吸附磷的活性炭过滤与氧化单元，防止直接开盖维护造成磷自燃。8.采用405nm/633nm及950nm三个波长的激光对外延层生长状态在线监测，（略）具有温度、翘曲度监测功能；9.（略）可对晶圆表面进行实时温度扫描，实时温度扫描在半径方向上不少于3（略）；10.（略）（略）联动，实时温度数据实时反馈给加热控制器，自动调控加热功率，以优化面内温度均匀性。
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联系电话：（略）
预计采购时间:2024-03
备注:无
本次公开的采购意向是本单位：（略）