深圳技术大学二氟化氙气相刻蚀机意向公开

（略）:53来源：【打印】深圳技术大学二氟化氙气相刻蚀机意向公开采购单位：（略）
项目名称：（略）
预算金额（元）:2,230,000.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟购置的二氟化氙气相刻蚀机一套，配置参数包括：1.晶圆尺寸：8英寸向下兼容；2.样品台可进行温控范围5~45℃；3.（略）：XeF2、H2、N2；4.工艺腔配一个干泵；5.重复性
联系人：（略）
联系电话：（略）
预计采购时间:2024-02
备注:无
本次公开的采购意向是本单位：（略）