深圳技术大学离子注入机意向公开

（略）:53来源：【打印】深圳技术大学离子注入机意向公开采购单位：（略）
项目名称：（略）
预算金额（元）:12,160,000.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟购置的离子注入机一套，配置参数包括：1.适用尺寸：2、3、4、6英寸晶圆以及不规则碎片；2.注入能量：低能量注入：5~30keV，波动±1%;高能量注入：30~100keV，波动≤±0.5keV、100keV~200keV，波动≤±0.5%；3.注入温度：常温至700℃可调，加热台采用水冷或气冷方式：（略）
联系人：（略）
联系电话：（略）
预计采购时间:2024-02
备注:无
本次公开的采购意向是本单位：（略）