深圳技术大学电子束蒸发镀膜机意向公开

（略）:53来源：【打印】深圳技术大学电子束蒸发镀膜机意向公开采购单位：（略）
项目名称：（略）
预算金额（元）:2,500,000.000
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:拟采购电子束蒸发镀膜机1台，配置参数包括：1.腔体极限真空≤8E-8Torr，开腔后从大气抽到5E-6Torr小于30分钟；2.一台不小于10KW电子束枪电源，X/Y扫描；坩埚的数目不少于6个，每个坩埚容量不小于15cc，（略）。3.真空计及气体流量控制：（略）N2和O2,一个质量流量计控制O2，质量流量计（工艺腔体）最大流量100sccm。4.配置一套晶振控制器，（略）PLC可用于蒸发源和挡板的自动操作；双探头晶振，可以自动切换。5.水冷工件台：直径8英寸旋转工件台，转速0-20RPM可调节，满足8英寸向下及碎片基板的蒸镀需求。6.膜厚均匀性：8英寸膜厚片内±3%，片间±3%；厚膜精度优于0.1A。
联系人：（略）
联系电话：（略）
预计采购时间:2024-03
备注:无
本次公开的采购意向是本单位：（略）