中国科学院赣江创新研究院2024年3至5月政府采购意向-电子束物理气相沉积系统详细情况

采购意向
其他采购方式：（略）
中国科学院赣江创新研究院
（略）
货物/通用设备
预算***金额
（略）
项目所在采购意向：中国科学院赣江创新研究院2024年3至5月政府采购意向
采购单位：（略）
采购项目名称：（略）
预算金额：***万元(人民币)
采购品目：A（略）
采购需求概况：1)主真空室：≥1000mm×500mm×500mm，极限真空度：8.0×10-3Pa；2)真空室压升率：≤2.5Pa/h；3)抽气速率：主真空室60分钟内达10-3Pa；4)配置3把以上电子束枪，可长时间稳定工作功率：0kW-40kW/枪；5)设备高压0-20kV，束流0-2A，工作中连续可调，具备高压稳压功能保证工艺的一致性；6)沉积涂层可装载工件旋转最大直径：300mm，工件水平传送轴采用波纹管密封，可以有效避免真空泄露，最大载荷:30kg,工件旋转速度：0-30rpm,工件水平位移速度：0-200mm/min，工作中连续可调；靶材直径70mm，长度不小于300mm；7）满足蒸发沉积的需求溅射靶材：金属、合金、化合物、陶瓷等。
预计采购时间：2024-03
备注：
本次公开的采购意向是本单位：（略）