ICP刻蚀机采购信息公示

ICP刻蚀机采购信息公示
一、项目概况
（一）（略）：（略）
（二）项目名称：（略）
（三）项目内容及需求：
1、数量：1台
2、设备结构
2.1刻蚀材料：ZnS/CdTe叠层（基底：HgCdTe）HgCdTe材料
3.2射频源：2个，独立控制
3.3腔室：带loadlock
3.4载盘尺寸：8inch，向下兼容，包含2’’片及碎片
3.5下电极温度：-150℃~+80℃
3.6贴片方式：（略）
3.7（略）：≥8路，必备CH4、H2、Ar、O2、SF6、N2
3.8工艺要求：
刻蚀CdTe/ZnS叠层：刻蚀深度：ZnS200-300nm;CdTe200-300nm（2μm线宽）；侧壁角度：＞80°；刻蚀速率：50-200nm/min；选择比：CdTe：HgCdTe＞0.5；均匀性：＜±5%（片内），＜±3%（片间）
3.9必备件：（略）
3、交期：150日历天。
二、资格要求
（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：
1、具有独立承担民事责任的能力。
2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。
3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。
4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。
5、法律、行政法规规定的其他条件。
6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重大安全生产事故的声明。
7、未被列入“信用中国”网站(（略）.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“（略）”（（略）.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单，（略）上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。
（二）特定资格要求：
1、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。
2、本次招标不接受联合体投标。
三、供应商资料递交截止时间和地点：（略）
（一）截止时间：（略）:30
（二）地点：（略）
四、联系事项
联系人：（略）
技术联系人：（略）
五、监督电话：
审计监察部：（略）
（略）
2023年7月19日