9锐石创芯MEMS器件生产基地新建项目审查建设项目环评信息公示表20220119(9)(1)

（略）生态环境局两（略）分局
审查建设项目环评信息公示表
渝环（两江）〔2022〕第9号
（略）生态环境局两（略）分局审查以下建设项目环评文件，现公告有关环评信息，接受社会监督，公示期为2022年1月19日—2022年1月25日（5个工作日）。环评文件查询方式：（略）
反馈意见受理方式：（略）
（略）
项目名称：（略）
建设地点：（略）
建设单位：（略）
环境影响评价机构
项目概况
主要环境影响和环境保护对策与措施
相关部门意见
9
锐石创芯MEMS器件生产基地新建项目
（略）两（略）水土组团H分区05-1/01地块（水（略））
锐石创芯（重庆）（略）
（略）
新建MEMS生产线4条，建成后形成年产MEMS器件约10亿颗（其中以6英寸钽酸锂作为衬底材料的MEMS器件8亿颗、以6英寸铌酸锂作为衬底材料的MEMS器件2亿颗）的生产能力，配套建设辅助工程、公用工程、储运工程及环保工程等。
拟建项目总投资80000万元，其中环保投资7600万元，占总投资的9.5%。
（1）废气
拟建项目设3（略）。（略）：氧化废气、化学气相沉积废气、干刻废气分别经设备自带的LocalScrubber（电热水洗）预（略）经“碱喷淋（1用1备）”处理，处理规模为30000m3/h（配变频风机：30000m³/h~50000m³/h），处理后的废气经过1#30m高排气筒排放；（略）：碱性废（略）经“酸喷淋（1用1备）”处理，处理规模为20000m3/h（配变频风机，风量可调节），处理后的废气经过2#30m高排气筒排放；（略）：有机废（略）经“沸石转轮浓缩+TO”处理，处理规模为50000m3/h（配变频风机，风量可调节），处理后的废气经过3#30m高排气筒排放；燃气锅炉产生的燃烧废气直接通过4#25m高排气筒排放；食堂油烟经油烟净化器处理达标后经烟道屋顶达标排放。
（2）废水
拟建项目设7（略）（略）。（略）：设计处理能力80m3/d，采用“中和+化学沉淀+混凝沉淀”工艺进行预处理后再进入全厂污水处理站；（略）：设计处理能力150m3/d，采用“中和+A2/O”工艺进行预处理后再进入全厂污水处理站；（略）：设计处理能力100m3/d，采用“中和+化学沉淀+混凝沉淀”工艺进行预处理后再进入全厂污水处理站；（略）：设计处理能力60m3/d，采用“中和+袋式过滤+热交换+氨氮吹脱吸收”工艺进行预处理后再进入全厂污水处理站；（略）：设计处理能力26m3/d，采用“化学混凝沉淀+MMF+树脂吸附+RO膜滤”工艺进行预处理后再进入全厂污水处理站；（略）：设计处理能力20m3/d，采用“中和+化学沉淀+混凝沉淀”工艺进行预处理后再进入全厂污水处理站；全厂污水处理站（（略））：设计处理能力700m3/d，各类废水经预处理后与酸碱废水一并排入全厂污水处理站，采用“中和”工艺处理后（略）（略）排（略）污水处理厂进一步处理。生活污水：设计处理能力30m3/d，采用“水解酸化+A/O”工艺进行预处理。
（3）地下水
分区防腐防渗处理，重点（略）按照《危险废物集中焚烧处置工程建设技术规范》（HJ/T（略））、《危险废物贮存污染控制标准》（GB（略））等相关要求进行建设。一般（略）参照《石油化工工程防渗技术规范》（GB/T（略））一般污染（略）要求进行建设。
（4）噪声
合理布局，并充分利用绿化的降噪作用；各类泵、风机、压缩机、空压机、冷却塔等机械噪声分别采用消声、隔声、减震等措施。
（5）固废
新建危险废物暂存间、液态危废（略），占地面积分别为80m2、30m2和40m2。危险废物暂存于危险废物暂存间，定期交有资质单位：（略）
一般固废储存于一般固废暂存间，定期交资源回收单位：（略）
（6）环境风险
化学品库（甲类）：设有地沟和集水井，并且与事故池连通；地面进行防腐防渗处理；设置可燃气体、有毒有害气体检测报警仪；应急材料：设置灭火器、消水栓、正压式防毒面具、C级防护服等。
化学品（略）：化学品（略），事故状态下，事故性泄漏物料储存在地沟，经管道流入事故池；同时在装卸过程中使用收集桶防止装卸过程中阀门连接口滴漏。
特殊气体储存及供应：特殊气体储存均用特气专用气体钢瓶，暂存于化学品库（甲类），使用时领用钢瓶，特气钢瓶领至芯片厂房1各供气间，放入供气柜，由特气柜经供气管道输送至机台，供应易燃易爆气体的特气柜为防爆气柜，并且气柜设计为负压，（略），气柜尾气排入相应LCS（干式吸附）系统处理后/直接排入厂务端处理设施，储存气体的专用钢瓶定期由特种设备检验所进行检验。
供气管道及腐蚀性液体管道：毒腐特气的供气管道为双套管，（略）生产所用气体，两管之间为真空，并设真空监测装置和氮气吹扫，当发生事故时，关闭两端阀门，停止供气，事故解除后，原管（略）。酸碱等腐蚀性液体采用双套管，内管走液体，（略），可发现液体泄漏情况，同时漏液经VMB（略）。
危废暂存间：生产厂房中设液态危废暂存（略）用于废酸碱、废有机溶剂等危废收集，并配套建设围堰，容积大于围堰内最大罐体积，围堰、地面及地沟采用防腐防渗处理；危废暂存间进行防腐防渗处理，设置标志标牌，需满足《危险废物贮存污染控制标准》GB18597−2001规定的贮存控制标准。
地埋式柴油罐：（略）进行地面硬化、防渗处理；
在线监测：含氟废水、有机废水、研磨废水、氨氮废水、含镍废水、（略）设置pH计；含镍废水车间排口（连网中控室）设置总镍在线监测；厂区排放总口设置pH、流量、COD、NH3-N、SS、F、TN、总Cu在线监测，并与两（略）（略）。
酸碱洗涤塔处理设施均配备了在线pH、液位等检测仪；有机废气均有在线VOCs检测；所有污染治理设施均为PLC控制。
（略）：在厂房设置磷化氢/H2、磷化氢/He、SiH4、C5F8、1%F2/1.25%K/Ne、BCl3、CO、CH2F2、O2、H2、Cl2、氯化氢、NF3、NH3、（略）。
在有毒气体和可燃气体可能泄漏的场所，设置有毒气体检测仪或可燃气体检测仪。
生产车间、特气供应间、化学品库（甲类）、（略）等（略）（略）。
（略）：（略）采用N+1配置（N套运行，1套备用），事故状态下，在线检测仪器自动报警，厂房相关技术人员赶到现场，进行检查，人工实现切换备用洗涤塔，并及时修复。挥发性有机废气采用1套沸石转轮吸附+TO炉燃烧处置，当沸石转轮或TO炉处理装置出现异常，立即采取停机停产方式：（略）
导流沟：（略）层设有地沟和收集池，事故情况下，液体经地沟流向收集池，（略）处理。化学品库（甲类）相应有液体存储的房间均布设了地沟和收集池，发生泄漏事故时，液体经地沟流向收集池，经管道流入室外事故池。
事故池：事故池（兼做初期雨水收集池1200m3），确保事故废水不外流；按防（略）要求并作防渗、防腐处理。
雨污切换：雨、（略）：雨污管道出口设闸阀，废水管道明管敷设；发生事故时立即关闭出厂雨、污管道出口；（略）与事故池连通。
应急措施：使用溶剂、酸碱等有毒、有腐蚀性物料的岗位附近，设置洗眼器、淋浴、急救箱等。
风向标：厂内最高显眼处设立风向标。
重庆两（略）经济运行局备案（项目编码：（略）-（略））